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09
2021
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真空泵機組應用領(lǐng)域
真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用于諸多領(lǐng)域:①半導體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導體器件封裝設(shè)備;②科學儀器行業(yè):同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設(shè)備、分析測試儀器
真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用于諸多領(lǐng)域:①半導體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導體器件封裝設(shè)備;②科學儀器行業(yè):同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設(shè)備、分析測試儀器;③機械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④醫(yī)療設(shè)備行業(yè):牙科儀器、透析機;生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的最佳配置。它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無需水冷。
渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化小，振動噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。為實現(xiàn)渦旋泵有效工作的目的，必須使渦旋型線在各個真空氣腔良好嚙合，避免由于真空腔壓差大等因素導致渦旋壁受力情況惡化、產(chǎn)生熱變形、排氣腔一部分高壓氣體滯留和真空泵效率降低等情況。所以要保證渦旋型線之間的精確包容與嚙合，控制工作介質(zhì)的泄漏，達到抽氣目的。這是渦旋泵結(jié)構(gòu)設(shè)計的重要依據(jù)。在泵的抽氣流道中，無須使用任何油類和密封液體作為介質(zhì)，依靠動、靜渦旋盤相對轉(zhuǎn)動形成吸氣腔和壓縮腔將被抽氣體排出，連續(xù)完成吸氣、壓縮和排氣過程。因此，如何防止泄漏解決密封的問題尤為重要。渦旋泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封，和徑向嚙合間隙的切向密封，即齒側(cè)密封。
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